蘇凈超凈工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)說(shuō)明及原理-具體操作方法
時(shí)間：2018-10-30 10:05:00 來(lái)源： 作者：admin
蘇凈超凈工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)說(shuō)明及原理-具體操作方法講解：蘇凈超凈工作臺(tái)其實(shí)也可以稱(chēng)之為局部潔凈棚，或者區(qū)域無(wú)塵工作桌等，不同的地區(qū)叫法都會(huì)有所不同，總之主要是為實(shí)驗(yàn)室工作提供無(wú)菌操作環(huán)境的設(shè)施，以保護(hù)實(shí)驗(yàn)免受外部環(huán)境的影響，同時(shí)為外部環(huán)境提供某些程度的保護(hù)以防污染并保護(hù)操作者。
空氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾的生產(chǎn)環(huán)境被航空航天工業(yè)使用。即使一個(gè)微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤，因此，NASA(美國(guó)航空航天中心)和其服務(wù)商們建造了帶有過(guò)濾天花板夾層和過(guò)濾墻體的車(chē)間。而且創(chuàng)了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。
半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。然而一個(gè)主要的問(wèn)題是當(dāng)從小加工車(chē)間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車(chē)間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過(guò)濾天花板夾層和墻體的方法演化為超凈工作臺(tái)法。這個(gè)主要是把過(guò)濾器裝在單個(gè)工作臺(tái)上，并使用無(wú)脫落的物質(zhì)。在工作臺(tái)以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲(chǔ)存、運(yùn)輸。
在大型車(chē)間中按順序排列的工作臺(tái)(叫做工作層流罩)組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過(guò)而不從露于空氣中。潔凈工作罩中的過(guò)濾器是一種高效顆粒搜集過(guò)濾器(HEPA高效過(guò)濾器)。這些過(guò)濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過(guò)濾層，使得大量的空氣低速流過(guò)。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺(tái)的潔凈度，并且對(duì)于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量為每分鐘90到100英寸。HEPA過(guò)濾器可達(dá)到99.99%或更高的過(guò)濾效率，并可用于三種凈化方法中。
一般來(lái)說(shuō)，HEPA高效過(guò)濾器裝于超凈工作臺(tái)頂部。空氣由風(fēng)扇吸入先通過(guò)前置過(guò)濾器，再通過(guò)HEPA過(guò)濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺(tái)表面改變方向，流出工作臺(tái)。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動(dòng)方向，通常這種方式稱(chēng)為空氣層流立式式(VLF)工作臺(tái)，它是由空氣流的方向命名的。有些工作臺(tái)把HEPA過(guò)濾器裝于工作臺(tái)后部，這種方式被稱(chēng)為空氣層流平行(HLF)式工作臺(tái)。
1. 蘇凈超凈工作臺(tái)工作臺(tái)原理：
超凈工作臺(tái)的潔凈環(huán)境是在特定的空間內(nèi)，潔凈空氣(進(jìn)濾空氣)按設(shè)定的方向流動(dòng)而形成的。以氣流方向來(lái)分，現(xiàn)有的超凈工作臺(tái)可分為垂直式，由內(nèi)向外式以及側(cè)向式。從操作質(zhì)量和對(duì)環(huán)境的影響來(lái)考慮，以垂直式較優(yōu)越。由供氣濾板提供的潔凈空氣以一個(gè)特定的速度下降通過(guò)操作區(qū)，在大約操作區(qū)的中間分開(kāi)，由前端空氣吸入孔和后吸氣窗吸走，在操作區(qū)下部吸入的空氣混合在一起，并由風(fēng)機(jī)吸入后正壓區(qū)，在機(jī)器的上部，氣體通過(guò)供高效過(guò)濾器重新進(jìn)入操作區(qū)。為補(bǔ)充排氣口排出的空氣，同體積的空氣通過(guò)操作口從房間空氣中得到補(bǔ)充。這些空氣絕對(duì)不會(huì)進(jìn)入操作區(qū)，只是形成一個(gè)空氣屏障。
2. 蘇凈超凈工作臺(tái)工作臺(tái)操作方法：
操作前應(yīng)用紫外燈照射30-40分鐘，并檢查操作區(qū)周?chē)鞣N可開(kāi)啟的門(mén)窗處于工作時(shí)位置。操作盡量在操作區(qū)的中心位置進(jìn)行，在設(shè)計(jì)上，這是一個(gè)較安全的區(qū)域。
在進(jìn)行操作前應(yīng)對(duì)實(shí)驗(yàn)材料有一個(gè)初步的認(rèn)識(shí)，同時(shí)了解自已所使用的設(shè)備的性能及安全等級(jí)。嚴(yán)格執(zhí)行實(shí)驗(yàn)室安全規(guī)程。特定病原在任何超凈工作臺(tái)中的使用必須進(jìn)行安全性評(píng)估。如果實(shí)驗(yàn)材料會(huì)對(duì)周?chē)h(huán)境造成環(huán)境污染，就應(yīng)避免在無(wú)排氣濾板的型號(hào)內(nèi)使用，因?yàn)樵诹鲃?dòng)空氣中操作與散毒無(wú)異。
任何先進(jìn)的設(shè)備并不能保證實(shí)驗(yàn)的成功，動(dòng)物檢疫實(shí)驗(yàn)室蘇凈超凈工作臺(tái)的使用是以無(wú)菌和避免交叉污染為目的，因此熟練的操作和明確的無(wú)菌要領(lǐng)是必不可少的。
